回路パターンの寸法を測定するために用いる装置はどれか。

2026年4月22日

CD-SEMは走査電子顕微鏡を用いて微細なパターン寸法を測定する。

ウェーハ表面を研磨して平坦にする技術はどれか。

チップをリードフレームに接着する工程はどれか。