HOMELv004 予防保全の目的として適切なものはどれか。 2026年4月22日 予防保全は計画的な点検により突発的な故障を防ぐ活動である。 薬品供給ラインで漏洩が発生した際の検知器はどれか。 解像度を高めるために露光装置の光源に求められる性質はどれか。