プラズマCVDの熱CVDに対する利点はどれか。

2026年4月22日

プラズマのエネルギーを利用するため基板温度を低く抑えられる。

焦点深度（DOF）を深くするための方法として正しいものはどれか。

アスペクト比とは何の比率か。