走査型電子顕微鏡（SEM）で粉末を観察する際、導電性のない粉末に行う処理はどれか。

2026年5月14日

電子線の蓄積によるチャージアップを防ぐため、導電性の薄膜を表面に形成させる。

比表面積計（BET装置）で前処理として「脱気」を行う理由はどれか。

炭化ケイ素（SiC）発熱体の特徴として、正しいものはどれか。