HOMELv011 プラズマデスミア処理が化学的処理(薬品)より優れている点はどれか。 2026年4月10日 ガス状態のプラズマは薬液が入りにくい微小なブラインドビアの底にも届きやすい。 L/S(ラインアンドスペース)が25/25マイクロメートル以下の微細形成に適した工法はどれか。 製造工程において、異常が発生した際に自動的に設備を停止させる仕組みを何と呼ぶか。