半導体製造プロセスを用いて、微小な電気機械システム(センサやアクチュエータ)を作る技術はどれか。

MEMS技術により、シリコンウェハ上に機械的な可動構造と電子回路を一体形成し、センサの小型化・低コスト化が可能になった。