HOMELv002 化学気相成長法を示す略称はどれか。 2026年4月22日 CVD(Chemical Vapor Deposition)は化学反応を利用した膜堆積法である。 感光剤をウェーハに塗布する装置はどれか。 化学反応と物理的衝突を併用するエッチング手法はどれか。