ウェーハを1枚ずつ処理する装置の形式はどれか。

2026年4月22日

枚葉式はウェーハを1枚ずつ個別に処理する方式である。

シリコンウェーハの結晶方位を確認するための切り欠きはどれか。

フッ酸が皮膚に付着した際の緊急処置で正しいものはどれか。