レジストを加熱して溶剤を飛ばし密着性を高める工程はどれか。

2026年4月22日

露光前に溶剤を除去し膜を安定させる工程をプリベークと呼ぶ。

酸化膜成長において、水蒸気を用いる酸化法を何というか。

熱CVDにおいて反応速度を上げるための主な要因はどれか。