プラズマ中のラジカルが主に寄与するエッチング作用はどれか。

2026年4月22日

中性のラジカルは表面と化学反応を起こして物質を揮発させる。

熱CVDにおいて反応速度を上げるための主な要因はどれか。

投影飛程（Rp）が意味するものはどれか。