マスフローコントローラ（MFC）の役割はどれか。

2026年4月22日

ガスの質量流量を精密に計測し設定値に制御する装置である。

ウェーハ表面が(100)面の場合、原子密度は(111)面と比較してどうか。

ランプ加熱を用いた短時間熱処理の略称はどれか。