HEPAフィルタの捕集効率として、定格風量で粒径0.3µmの粒子に対し、最低限求められる効率はどれか。

2026年5月13日

HEPAフィルタは0.3µmの粒子に対して99.97%以上の捕集効率を有すると定義されている。

サーベイメータの校正定数（Calibration Factor）は何のために用いるか。

特性X線のエネルギーは何によって決まるか。