投影飛程（Rp）が意味するものはどれか。

2026年4月22日

投影飛程は注入されたイオンの分布のピーク深さを指す。

プラズマ中のラジカルが主に寄与するエッチング作用はどれか。

多層配線において上下の配線をつなぐ接続穴を何というか。