HOMELv008 ローディング効果とはどのような現象か。 2026年4月22日 エッチング面積の大小によって反応ガスの消費量が変わり速度が変化する。 不純物濃度が高いシリコン層の上に、低濃度の層を成長させる法はどれか。 注入された不純物の濃度分布が最大になる位置を何というか。