HOMELv009 ウェーハ表面が(100)面の場合、原子密度は(111)面と比較してどうか。 2026年4月22日 (111)面はシリコン結晶の中で最も原子密度が高い面である。 電子が波としての性質を持つことを示す原理はどれか。 マスフローコントローラ(MFC)の役割はどれか。