イオン注入後の活性化アニールにおける「再結晶化」の役割はどれか。

2026年4月22日

損傷したアモルファス領域を下地結晶に合わせて再配列させる。

乾燥工程で「ウォーターマーク」が発生する原因はどれか。

「工程能力指数Cpk」がCpと異なる点はどれか。