HOMELv003 光学式膜厚計の原理に利用される現象はどれか。 2026年4月22日 薄膜の表面と底面からの反射光の干渉を利用して膜厚を算出する。 熱拡散において拡散深さを決定する主な要因はどれか。 工程が安定しているかどうかを判定するために用いる図はどれか。