ALD（原子層堆積法）の最大の特徴はどれか。

2026年4月22日

ALDは原子層単位で制御するため極めて優れた段差被覆性を持つ。

大気圧から高真空まで広範囲を1台でカバーしにくい理由はどれか。

ドライエッチングにおいてプラズマを生成する主な方式はどれか。