HOMELv008 ドライポンプの利点はどれか。 2026年4月22日 油を使用しないためプロセスチャンバへの油汚染を防げる。 原子が1個欠けている格子欠陥を何というか。 メガソニック洗浄が物理的に汚れを落とす原理はどれか。