光源にEUVを用いる際の波長は約いくらか。

2026年4月22日

極端紫外線（EUV）は13.5nmという極めて短い波長を持つ。

キャリアの移動度（モビリティ）の単位はどれか。

物理気相成長法（PVD）に含まれる手法はどれか。