HOMELv011 物理気相成長法(PVD)に含まれる手法はどれか。 2026年4月22日 真空蒸着やスパッタリングは物理的な現象を用いるPVDである。 光源にEUVを用いる際の波長は約いくらか。 熱拡散における不純物の供給源が一定の場合の分布関数はどれか。