ウェットエッチングのデメリットはどれか。

2026年4月22日

薬液の浸透により横方向にも削れるため微細パターンの形成が難しい。

プラズマCVDにおいて、ガスを均一に供給するための板を何というか。

シリコン中のリンの拡散係数は、温度を上げるとどうなるか。