シリコン中のリンの拡散係数は、温度を上げるとどうなるか。

2026年4月22日

拡散係数はアレニウスの式に従い温度上昇とともに増大する。

ウェットエッチングのデメリットはどれか。

SEM（走査電子顕微鏡）の結像に主に利用される電子はどれか。