スカロッピングとはどのような現象か。

2026年4月22日

深掘りエッチング（Deep RIE）において側壁に生じる周期的な凹凸である。

段差被覆性（ステップカバレッジ）が良い成膜方法はどれか。

アルミニウム配線で問題となる「エレクトロマイグレーション」の原因はどれか。