段差被覆性（ステップカバレッジ）が良い成膜方法はどれか。

2026年4月22日

CVDは気相反応のため、凹凸部にも比較的均一に成膜できる。

オーバーレイ（重ね合わせ）精度とは何を指すか。

スカロッピングとはどのような現象か。