オーバーレイ（重ね合わせ）精度とは何を指すか。

2026年4月22日

前の工程で作ったパターンに対し、次のパターンをどれだけ正確に重ねられるかである。

シリコン結晶内の「すべり（スリップ）」が発生する主な原因はどれか。

段差被覆性（ステップカバレッジ）が良い成膜方法はどれか。