レジストの「解像限界」を決定するレイリーの式におけるk1とは何か。

2026年4月22日

プロセスの最適化具合を示す定数で、小さいほど高性能である。

ヘリウムリークディテクタの役割はどれか。

めっき法で銅配線を形成する際に必要な薄い金属層を何というか。