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Lv006

「Lv006」の記事一覧

製品の電気的特性を測るために針を当てる装置はどれか。

プローバはチップ上の電極に針を接触させ導通を確認する。

2026年4月22日

投影飛程（Rp）が意味するものはどれか。

投影飛程は注入されたイオンの分布のピーク深さを指す。

2026年4月22日

多層配線において上下の配線をつなぐ接続穴を何というか。

異なる層の配線間を垂直に接続する穴をビアと呼ぶ。

2026年4月22日

プラズマ中のラジカルが主に寄与するエッチング作用はどれか。

中性のラジカルは表面と化学反応を起こして物質を揮発させる。

2026年4月22日

熱CVDにおいて反応速度を上げるための主な要因はどれか。

熱CVDは化学反応を利用するため温度が高いほど成長速度が増す。

2026年4月22日

酸化膜成長において、水蒸気を用いる酸化法を何というか。

ウェット酸化はドライ酸化に比べて成長速度が速いのが特徴である。

2026年4月22日

レジストを加熱して溶剤を飛ばし密着性を高める工程はどれか。

露光前に溶剤を除去し膜を安定させる工程をプリベークと呼ぶ。

2026年4月22日

RCA洗浄において、重金属を除去するための液はどれか。

SC-2（塩酸と過酸化水素の混合液）は金属汚染の除去に効果がある。

2026年4月22日

ウェーハ外周の角を丸める加工を何というか。

ウェーハ端の欠けや発塵を防ぐために外周を丸める加工を行う。

2026年4月22日

シリコン結晶において、不純物が格子間に存在することを何というか。

不純物原子が結晶格子の隙間に入り込むことを格子間型と呼ぶ。

2026年4月22日