パーティクル（塵埃）を検出するための主な手法はどれか。

2026年4月22日

表面にレーザーを当て、異物による散乱光を検知して計数する。

酸素雰囲気中での「ドライ酸化」の膜質の特徴はどれか。

イオン注入装置の「質量分析マグネット」の役割はどれか。