酸素雰囲気中での「ドライ酸化」の膜質の特徴はどれか。

2026年4月22日

ウェット酸化に比べ成長は遅いが、緻密で電気的特性に優れた膜が得られる。

ポリシリコンゲートのエッチングにおいて最も重視される性能はどれか。

パーティクル（塵埃）を検出するための主な手法はどれか。