ポリシリコンゲートのエッチングにおいて最も重視される性能はどれか。

2026年4月22日

極薄のゲート酸化膜を削らずにポリシリコンだけを止める必要がある。

めっき法で銅配線を形成する際に必要な薄い金属層を何というか。

酸素雰囲気中での「ドライ酸化」の膜質の特徴はどれか。